JB 6841-1993
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ID： |
EEA1CB4A48A8440D8FE5DE1124956C26 |
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文件大小(MB)： |
3.92 |
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页数： |
18 |
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文件格式： |
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日期： |
2007-5-15 |
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JB,中华人民共和国机械行业标准,JB/T 6841-93,电子光学仪器术语,1993-07-09 发布,1994-01-01 实施,中华人民共和国机械工业部发布,1主题内容与适用范围,中华人民共和国行业标准,子光,JB/T6841-93,本标准规定了电子光学仪器,子显微镜、电子探针X射,本标准适用于电子光学,2,2-1 电子显微镜 electron microscope,按电子光学原理用电,2-2,2-4,2-5,2-6,2-8,2-9,丁、技术文件编制、教:,电子光学仪器总,透射电子显微镜t丽smiss,电子束曝光机electron exposure apparatus,发射电子显微镜e,由样品发射的电子束使;,等方,I书刊,3统、真空系统,及其它辅助装整,包子光学,n micros,oscope,猛的显微镜,条,献艳译等,的显微4,electron ml,sion electr microsc,:显微镜,、电子学系统透版电子显微镜、扫描电,用透过样品的电子束使其成象的电才显微镜,扫描电子显微镜 scarnning electron microsd,用电子探针对样品表岫描使其成象的电子d,扫描透射电子显微镜'tealnsmIssion electron microscope,电子束在样品上方扫寺,电子探针X射线微区,上行扫描成料蹈普拜微小,electron probe X-ray microahalyze,利用电子探针在样品上激发X射线进行微区成分分析的仪器,利用电子束扫描在工￥仕进南细啜刻的装置,电子束加工机 electMHHHessing machine,利用强电子束流在工4工进行微细疗工的装置,反射电子显微镜refl,由样品反射的电子束用其成象的电〃显微镜。］,象的,2-10 静电电子显微镜 electronstatic electron mh,采用静电式电子透镜体两显微晶,2-11 扫描隧道显微镜 scanning tunncjmicrosco e ( STM ),利用隧道电流效应产生,机械工业部19 9 3 —07 —09批准1994 —01 — 01 实施,1,JB/T6841 93,2-12 原子力显微镜 atom force microscope,利用原子力效应了,213热波电子显微行,利用受调制的电二,2.14 低能电子衍射仪low,用低能电子束研蹩材料目,2.15 俄歇电子能谱f,■ve de,J品，产,electr,ron microscope,:热声信号进行;,n diffractomet(,Auger :ron ei,行能否,2-16 X射线光电子网,用X射线激发样油,：rgy spectrome,上析的仪器,lectron energy,2-17场离子发射显啄邢H耨E,利用强电场使金,on microscope,离子形式发射,电子光学系统,并以微镜,电子光学 electron optics,研究电子束在电魄&,场作用下的运动规律及成象的学1,高斯光学Gaus：,在旋转对称电场0,电子透镜electr,产生轴对称分布M,>n len：,静电透镜 electrostatic lens,采用电场使电子蝌渊制,电磁透镜 electromagnettc lens,采用电流激励的簪对电子聚d的电子,永磁透镜 perm^Rit lens,采用永磁材料的磁场对电子束鹦焦的电,电子束,油电子轨迹的成象理论.,超导电磁透镜supercor^^,采用超导材料作耀包材料俯,焦点 focal point,平行于光轴的电子射线经过电,焦平面 focal plne,通过焦点垂直于光轴的平面,electr,透镜,3-10 主平面 principal pl;,线与经，向延长线相交通过该交点垂直于光,轴的平面称主平面。1 」,3-11 物面 object plane,过物点并垂直于光眄75^,3-12 象点 image,物点发出的电/束吸空间的会聚点,JB/T6841 93,3-13 象面 image plane,过象点并垂直于光轴的平面,3-14 主点 prlncl^l point,主平面与光轴,3-15 焦距 focal distance,主点到相应的焦关间距离,3-16 实象 real I,在电子光学中隹,3-17 虚象 virtualtimag,在电子光学中,度的电子射线，经透镜,透镜后直接会聚而成的,向延长线在物方聚焦而,际斯光学理,过透镜不后,角,Cs为球差系数,物点不在光轴，用聚焦后形成一个彗星形斑点,厦构成,想成象之间的,clent of ^spherica < berratlon,反映透镜球差大小的参数，球季圆斑d=Csa 3, a为孔,3-21 彗差 coma LnoMmsJ wlWW,3-18 几何象差 geometric aberration,在电子光学系2,3-19 球差 spherl,光轴上一个物片,3-20球差系数co,3-22 象散 astigmatism .,由于透镜系统曾称性或物点,3-23 色差 chromaKaD^^nor^,加速电压、电磁,在轴外，瓶子,起伏和电子能量涨落所产生的,的图,别,不会会T的一种对称性象差,詈差,形成的艇条相互垂直并相隔一定距离的交线,3- 24 色差系数 cofFflcient of cKromatic,反映色差大小,角。激励电流相对起,3-25倍率色差ratjo,电子束穿透较厚,3-26 场曲 curvature,起色差,a .罕,数。加速电子相对j,【所引起色差散射圆直径d= Cc,G a胃i , a为孔……
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